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X射線衍射技術(X-Ray Diffraction, XRD)是一種用于表征結晶材料結構性質的無損檢測技術。X射線粉末衍射圖像可以提供樣品晶體結構、相、擇優取向,計算后可得各組分含量、平均晶粒尺寸、結晶度、應力/應變、晶體缺陷等信息;通過調整光路系統,還可實現XRR測試,得到薄膜樣品厚度、表面粗糙度、薄膜密度等信息,及在高分辨光路下得到半導體薄膜搖擺曲線及高分辨RSM倒易空間圖。

本公司使用MalvernPANalytical(馬爾文帕納科)公司的Empyrean銳影立式衍射儀,搭載多種入射光路模塊、樣品臺及PIXcel 3D Medipix陣列探測器,可實現以下具體測試內容:

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