三、薄膜反射率測試(XRR)


由于薄膜樣品,膜材料和襯底材料電子密度等材料性質不同,X光可在膜界面上發生全反射現象。反射率(XRR)測試,可以得到材料的全反射干涉條紋,從而可通過擬合或傅里葉變換等計算方法,得到薄膜層厚度、粗糙度及薄膜材料密度等信息。本公司可對薄膜材料進行XRR測試,為客戶提供反射率干涉條紋譜圖。

單層薄膜樣品的XRR測試結果

[WSi2/Si]N=5多層膜掠入射反射曲線

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