二、薄膜物相測試(掠入射掃描,GI-XRD)


Parallel Mirror平行光鏡模塊與平板準直器搭配可將光路調整為標準的平行光路,薄膜樣品采用掠入射掃描能夠規避強襯底信號對圖像帶來的干擾,只得到薄膜的物相信息。

多晶ITO薄膜的掠入射掃描(15°-80°,掠入射角1°)

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